深圳摩根溅射靶材科技有限公司出品的三氧化二钛(Ti₂O₃),英文名：Titanium(Ⅲ) Oxide;蒸发镀膜质料;

称号：五氧化三钛(Ti₃O₅),英文名：Titanium(Ⅴ) Oxide;

分子式：Ti₃O₅;

规格：1～3mm;3～5mm; φ10×10mm;

折射率：2.35/500mm;

透光率：0.4～12μ;

蒸发温度：1800℃～2000℃;

蒸发源:E;

运用：A R Coatings.Mutilayers.增透膜、多层膜.

靶材的主要性能指数

纯度

纯度是靶材的主要性能目标之一，由于靶材的纯度对薄膜的机能影响很大。不外正在现实运用中，对靶材的纯度要求也不尽雷同。 　　

澳门太阳集团2005

靶材固体中的杂质和气孔中的氧气和水气是堆积薄膜的重要污染源。差别用处的靶材对差别杂质含量的要求也不同。

澳门太阳集团2005

为了削减靶材固体中的气孔，进步溅射薄膜的机能，一般要求靶材具有较下的密度。靶材的密度不只影响溅射速度，借影响着薄膜的电学和光学机能。靶材密度越下，薄膜的机能越好。另外，进步靶材的密度和强度使靶材能更好天蒙受溅射历程中的热应力。密度也是靶材的要害性能指标之一。 　　

晶粒尺寸及晶粒尺寸散布

一般靶材为多晶构造，晶粒大小可由微米到毫米量级。关于同一种靶材，晶粒微小的靶的溅射速度比晶粒粗大的靶的溅射速度快；而晶粒尺寸相差较小(散布匀称)的靶溅射堆积的薄膜的厚度散布更匀称。

（注：购置前请取在线客服征询）